產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單可靠的氣體分析解決方案
在線氣體分析系統(tǒng)
內(nèi)置四級(jí)質(zhì)譜儀
應(yīng)用廣泛的氣體分析測(cè)試專(zhuān)家
愛(ài)柯銳 BLD-02
四級(jí)質(zhì)譜過(guò)程分析是對(duì)各類(lèi)氣相分子能精確定性定量檢測(cè)的一種快速、靈敏和可靠的方法，可以快速解決客戶各種繁雜氣體分析測(cè)試的問(wèn)題。
ACT的創(chuàng)新技術(shù)旨在大幅提高氣體過(guò)程檢測(cè)分析儀的易用性、性能和可靠性，使您高枕無(wú)憂，代表了我們持久專(zhuān)注氣體快速分析的技術(shù)的新成果。
氣體檢測(cè)從未如此簡(jiǎn)單
愛(ài)柯銳質(zhì)譜儀專(zhuān)為簡(jiǎn)便易用和優(yōu)化性能而設(shè)計(jì)，對(duì)于大多數(shù)常見(jiàn)應(yīng)用（氣體的定性定量分析、氣體過(guò)程分析、泄漏檢測(cè)等），用戶可以根據(jù)自己的實(shí)際情況，配置連接方式、正確設(shè)置參數(shù)。
直觀的觸摸屏界面為操作人員、工藝工程師和維護(hù)技術(shù)人員提供便捷的操作菜單。
值得信賴(lài)的氣體分析轉(zhuǎn)件
愛(ài)柯銳提供完整的解決方案和技術(shù)支持，該解決方案擁有一年的標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)保期（提供兩年和三年質(zhì)保的可選配置），并享有 全球服務(wù)、全球備件網(wǎng)絡(luò)以及各種訂制化服務(wù)合同的支持。
憑借卓越的使用維護(hù)成本、實(shí)際應(yīng)用性能和易用性等優(yōu)勢(shì)。
全新設(shè)置
靈活測(cè)真空系統(tǒng)配置
高靈敏度傳感器和智能操作的結(jié)合 ，使BLD-02成為您各類(lèi)分析測(cè)試的完美解決方案
雙檢測(cè)模式
低壓檢測(cè)環(huán)境下，可直接對(duì)接真空法蘭，實(shí)現(xiàn)快速便捷的過(guò)程分析；高壓檢測(cè)環(huán)境下，可接入采樣管，匹配直接進(jìn)樣和循環(huán)測(cè)量。
全新分析軟件
全新開(kāi)發(fā)的操作軟件，更加易用可靠。所有測(cè)量結(jié)果均可保存上傳至 地方。新一代高效氣體分析解決方案，智能軟件，操作簡(jiǎn)便，緊湊設(shè)計(jì)
質(zhì)譜與工作站的有機(jī)統(tǒng)一
全新的 BLD-02 匹配有高性能的渦輪分子泵和隔膜泵 ，無(wú)油的 高真空環(huán)境為質(zhì)譜的分析提供本底 ，所有組件全在一體，節(jié)省您寶貴的實(shí)驗(yàn)室；
不同的測(cè)量軟件為您的氣體分析提供廣泛的測(cè)試解決方案； 普適性的測(cè)量程序，集成高科技組件；
集成電腦于設(shè)備上，實(shí)現(xiàn)分析軟件與控制系統(tǒng)的有機(jī)整合，匹配廣泛的應(yīng)用！
廣泛的應(yīng)用
ALL IN ONE 的氣體分析解決方案
成功的氣體分析解決方案很大程度上取決于應(yīng)用條件。以下是幾種常見(jiàn)應(yīng)用以及可獲得超高可靠性結(jié)果的理想配置解決方案示例。
特種氣體分析
- 藥瓶的泄漏分析
- 空調(diào)行業(yè)冷媒泄漏測(cè)試
- 特氣鋼瓶除雜
- 清洗工藝監(jiān)控
- 真空法蘭對(duì)接低壓檢測(cè)需求
鋰電池漏液分析
- 單體電芯的漏液分析檢測(cè)
- 電池模組的漏液分析檢測(cè)，適配電芯產(chǎn)線的半自動(dòng)檢測(cè)
- 電池包體內(nèi)的電芯的漏液檢測(cè)內(nèi)漏分析-電池包殼體的泄漏檢測(cè)
半導(dǎo)體過(guò)程分析
適配用于 ALD、CVD、PVD 和蝕刻等半導(dǎo)體工藝的過(guò)程監(jiān)控器。實(shí)現(xiàn)晶圓和面板保護(hù)以及工藝優(yōu)化。
- 化學(xué)氣相反應(yīng);
- 腔體泄漏分析;
- 鑒別痕量污染物;
- 測(cè)量過(guò)程反應(yīng)與本底的組分;
- 定性氣體純度
重新定義氣體的快速分析測(cè)試方案
實(shí)用、快速、便捷
通訊接口信息
多功能擴(kuò)展接口
數(shù)據(jù)端口與聯(lián)用
8 模 擬 量 輸 出
8 模擬量 輸入 1 0 數(shù)字量輸 出
5 數(shù) 字量 輸 入
與其他儀器聯(lián)動(dòng)，數(shù)據(jù)共享
網(wǎng)絡(luò)通訊
可外接獨(dú)立上位機(jī)系統(tǒng)
可獨(dú)立與質(zhì)譜儀軟件通訊
規(guī)管連接
獨(dú)立的內(nèi)部壓力管控
全量程數(shù)字規(guī)或者模擬規(guī)管，保護(hù)質(zhì)譜儀不受壓力上升的影響
| I/O選項(xiàng) | 模擬輸出 | 模擬輸入 | 數(shù)字輸出 | 數(shù)字輸入 |
| 數(shù)量 | 8 | 8 | 10 | 5 |
| 規(guī)格 | 0-10V | (-10-+10V) | Vout=24V | Vin=24V |
| 分辨率 | 16 bit | 16 bit | － | － |
| 應(yīng)用程序示例 |
測(cè)量值； 例：離子電流 濃度比； 數(shù)據(jù)傳輸?shù)礁叩燃?jí)的系統(tǒng)。 |
讀取外部參數(shù)； 例：壓力、溫度、流速 |
閥門(mén)驅(qū)動(dòng)； 自由切換量程 |
啟動(dòng)或停止測(cè)量任務(wù)的方式外部信號(hào) |
技術(shù)參數(shù)
| 真空系統(tǒng) | HiPace 80 | |||||||
 渦輪分子泵
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60-80 l/s | |||||||
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前級(jí)泵 |
1 m3/h | |||||||
| 輔助泵 | 3 m3/h（可定制大抽速泵） | |||||||
| 低真空計(jì) | 復(fù)合全量程真空計(jì) | |||||||
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入口真空計(jì) |
皮拉尼 |
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可測(cè)試氣體 |
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測(cè)量范圍 |
from 1 to 100amu (200/300可選) |
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進(jìn)樣系統(tǒng)
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真空法蘭，進(jìn)樣管等 | |||||||
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真空法蘭 |
KF25 |
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可配置入口腔體和對(duì)接波紋管 |
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常壓法蘭 |
1/16卡套，石英管，peek，不銹鋼管等 |
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輔熱（選配） |
200/350℃輔熱 |
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QMG 250 F1 |
QMG 250 F2 |
QMG 250 F3 |
QMG 250 M1 |
QMG 250 M2 |
QMG 250 M3 |
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檢測(cè)器 |
Faraday (F) |
C-SEM/Faraday (M) |
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質(zhì)量范圍 |
1– 100 u |
1– 200 u |
1– 300 u |
1– 100 u |
1– 200 u |
1– 300 u |
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四極桿 直徑/長(zhǎng)度 |
6 mm / 125 mm |
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最小可檢測(cè)分壓, Faraday3) |
4 · 10- 13 hPa |
5 · 10- 13 hPa |
7 · 10- 13 hPa |
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|
最小可檢測(cè)分壓, C-SEM3)4) |
– |
– |
– |
3 · 10- 15 hPa |
4 · 10- 15 hPa |
5 · 10- 15 hPa |
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Ar 靈敏度, Faraday5) |
5 · 10-4 A/hPa |
4 · 10-4 A/hPa |
3 · 10-4 A/hPa |
5 · 10-4 A/hPa |
4 · 10-4 A/hPa |
3 · 10-4 A/hPa |
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最大操作壓力, Faraday operation |
5 · 10-4 hPa |
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|
最大操作壓力, C-SEM operation |
– |
– |
– |
5 · 10-5 hPa |
5 · 10-5 hPa |
5 · 10-5 hPa |
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相鄰質(zhì)量干擾 (40/41) |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
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最大工作溫度, 分析單元 |
200 °C (max. 150 °C when operating with SEM) | |||||||
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工作溫度, electronics |
5 – 50 °C |
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烘烤溫度, analyzer |
300 °C |
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對(duì)接法蘭 |
DN 40 CF-F |
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分辨率在10 %峰高處 |
0.5 – 2.5 u |
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掃描速度 |
1 ms – 16 s/u |
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峰值比重現(xiàn)性 |
± 0.5 % |
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通訊接口 |
Ethernet |
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供電 |
100–240 V AC, 50/60 Hz |
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BLD-02 |
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全重 |
60 - 120 kg |
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尺寸 |
950*408*1200mm（L*W*H） |
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應(yīng)用咨詢和服務(wù)
應(yīng)用咨詢
ACT應(yīng)用工程師將分析您的應(yīng)用并就如何優(yōu)化氣體分析測(cè)試給出建議
服務(wù)和支持選項(xiàng)
ACT擁有由專(zhuān)業(yè)服務(wù)人員組成的全球網(wǎng)絡(luò)資源以及各種支持選項(xiàng)
– 實(shí)現(xiàn)您的需求
– 提高工作效率
– 確保您的儀器完全滿足各種復(fù)雜的應(yīng)用
完 整 的 氣 體 分 析測(cè) 試 解 決 方 案
ACT 真 空 代 表 全 球 創(chuàng) 新 和 定 制 的 氣體分析測(cè) 試 解 決 方 案 ， 技 術(shù) 完 美 ， 合 理 的 建 議 和 可 靠 的 服 務(wù)
氣 體 分 析 產(chǎn) 品 全 覆 蓋
我 們 擁 有 從 質(zhì) 譜 色 譜 到 光 譜 的 所 有 產(chǎn) 品 和 解 決 方 案 ， 解決您多重復(fù)雜氣體和復(fù)雜環(huán)境中的氣體分析，匹配于廣泛的氣體分析測(cè)試應(yīng)用環(huán)節(jié)。
理 論 和 實(shí) 踐 能 力
受 益 于 我 們的 專(zhuān) 業(yè) 知 識(shí) 和 我 們 的 培 訓(xùn) ！ 我 們 支 持 您 的 氣 提 分 析 ， 并 為 您 提 供 一 流 的 現(xiàn) 場(chǎng) 服 務(wù)。
