BOC EDWARDS-渦輪分子泵-STP-iXA4506

產(chǎn)品名稱：BOC EDWARDS-渦輪分子泵-STP-iXA4506

產(chǎn)品型號(hào)：STP-iXA4506

產(chǎn)品介紹：Edwards STP-iXA4506 系列磁懸浮渦輪分子泵 (TMP) 采用先進(jìn)的技術(shù)，為當(dāng)今具有挑戰(zhàn)性的應(yīng)用提供良好的性能、改進(jìn)的氣流能力和高溫管理。 STP-iXA4506 TMP 在 12-16 英寸（300-400 毫米）入口法蘭上實(shí)現(xiàn)了 4300 l/s (N2) 的抽速和高達(dá) 4300 sccm (N2) 的吞吐量，使 STP-iXA4506 TMP 成為 廣泛的大容量、高流量應(yīng)用，包括半導(dǎo)體蝕刻、LCD 蝕刻、玻璃涂層、太陽(yáng)能 PVD 和涂層 PVD。其緊密集成的設(shè)計(jì)包括一個(gè)完全密封的電子模塊，可在苛刻的工廠環(huán)境中實(shí)現(xiàn)穩(wěn)健、可靠的運(yùn)行。 而且，與我們所有的磁懸浮 TMP 一樣，無(wú)機(jī)械軸承實(shí)際上去除了定期維護(hù)的成本。

性能特點(diǎn)：

溫度管理系統(tǒng)（TMS）單元可用于產(chǎn)生副產(chǎn)品的過(guò)程。

可選的 B* 涂層可適用于使用 TMS 的高通量工藝。

完全集成的控制器和電源去除了對(duì)電纜和單獨(dú)的控制器機(jī)架的需求，從而形成了具有成本效益的緊湊型 TMP 封裝，安裝速度快、安裝方便、占地面積小。

該泵將在冷卻水供應(yīng)高達(dá) 35°C 的情況下運(yùn)行。

參數(shù)：

出口法蘭：KF40

允許背壓：266(2)Pa(Torr)

max氣體流量N2：4300

max氣體流量Ar：2600

額定轉(zhuǎn)速：24,240rpm

啟動(dòng)時(shí)間：≤11分鐘

安裝位置：任意方向

輸入電壓：200-240V

不帶TMS的max輸入功率：1700VA

有TMS的max輸入功率：2200VA

上海連航機(jī)電科技有限公司專注于為中國(guó)工業(yè)企業(yè)供應(yīng)進(jìn)口備品備件，提供過(guò)程控制技術(shù)詢問(wèn)，工業(yè)自動(dòng)化集成設(shè)計(jì)與改造，成套設(shè)備與技術(shù)引進(jìn)等工業(yè)技術(shù)應(yīng)用及產(chǎn)品供應(yīng)服務(wù)。為緊跟工業(yè)科技發(fā)展步伐，連航分別在德國(guó)和美國(guó)設(shè)立了公司和倉(cāng)儲(chǔ)，一舉鞏固了采購(gòu)能力，擴(kuò)大了由工廠直采加產(chǎn)品集散帶來(lái)的二度成本優(yōu)勢(shì)，進(jìn)而提升了終端服務(wù)效率與水平。

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