應用介紹

設備主體機構為龍門雙驅，龍門長度2m、跨度1m，一共配備12個軸的運動控制，其中7個軸為點到點移動，另外5個軸為脈沖控制，結構設計分為兩端，每端各有2軸，其中1軸橫跨，同步運動進行晶圓搬運。

課題

1、當前的控制周期長，無法進行高精度的指令運算，導致龍門控制精度難以提升。

2、當前系統(tǒng)由多個控制器構成，難以實現(xiàn)高度的同步控制。

3、當前控制系統(tǒng)僅支持專用語言，其他功能難以實現(xiàn)；且內部處理為黑盒，客戶無法自定義。

解決方案

1、高速控制周期實現(xiàn)更高精度的加工

歐姆龍可編程多軸運動控制器ck3m/ck5m系列，通過控制周期25μs / 5軸的超高速伺服周期運算，能夠以超高速的控制周期進行順暢的指令運算，實現(xiàn)理想的軌跡。

只要存在高精度的指令，即可通過追蹤指令，實現(xiàn)高精度的運動控制。通過高速接收并補償反饋值，實現(xiàn)更接近指令值的軌跡控制。

2、支持不同接口，實現(xiàn)理想設備構成

輸入接口支持a/b相信號、正弦波信號、串行數(shù)據(jù)i/f，而控制指令接口也支持模擬指令（dac）、基于direct pwm*2的軸控制。該系統(tǒng)可連接高精度的標尺、精密的直線電機、高精度的掃描振鏡等，能自由選擇適合客戶應用的設備構成。還能通過各執(zhí)行器之間的高精度同步控制實現(xiàn)高精度的加工。

3、高自由度的開發(fā)實現(xiàn)各種各樣的應用

使用pmac專用腳本語言，可對客戶自有的復雜、高級算法進行編程。還支持c語言，可輕松實現(xiàn)非常復雜的算法和處理控制器內的日志文件等普通控制器難以實現(xiàn)的功能。此外，通過定義子程序，不僅可以自定義標準g代碼，還能實現(xiàn)具有客戶專屬功能的g代碼。

內部處理為白盒，可在客戶端進行自定義加工數(shù)據(jù)坐標系和執(zhí)行器機械坐標系的關系，輕松實現(xiàn)需要復雜執(zhí)行器機構的應用，（例如：機器人機構和on the fly激光加工等）。

實現(xiàn)價值

1、龍門速度：2m/s

2、定位精度：10μs

3、晶圓搬運同步精度：5μs

客戶的心聲

通過25μs / 5軸的超高速伺服周期運算，實現(xiàn)高精度的指令運算和高精度的指令追蹤，使設備達到更高性能，打造核心競爭力。另外，通過支持不同執(zhí)行器 / 標尺的接口和控制模式，可以擺脫外圍設備的限制，靈活應對當前多供應商的設備構成。對于工程師而言，內置pmac架構可進行高自由度的開發(fā)，通過高自由度的軟件結構輕松構建客戶自有算法，并實現(xiàn)以往難以實現(xiàn)的應用。

如果您對本案例感興趣，歡迎掃碼提交您的需求信息，歐姆龍工程師將與您取得聯(lián)系。

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