掃描電子顯微鏡技術(shù)日漸壯大 創(chuàng)新技術(shù)仍需加強(qiáng)

　　電子顯微鏡是一種多功能的儀器。近年來(lái)，隨著納米科學(xué)的迅猛發(fā)展，推動(dòng)了材料學(xué)、電子學(xué)、生命科學(xué)等眾多學(xué)科的進(jìn)步與更新。如今，電子顯微鏡已成為現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)中不可缺少的重要工具。

　　掃描電子顯微鏡的神奇與廣泛應(yīng)用吸引了國(guó)內(nèi)外眾多儀器商觸角于此。從全球市場(chǎng)來(lái)看，美國(guó)、日本、德國(guó)可以說(shuō)在該領(lǐng)域三足鼎立。其中以日本日立、日本電子公司、美國(guó)FEI以及德國(guó)蔡司公司表現(xiàn)最為突出，而我國(guó)在電鏡領(lǐng)域嚴(yán)重依賴進(jìn)口。

　　可觀的是，進(jìn)口品牌在中國(guó)市場(chǎng)的發(fā)展一定程度上助推了我國(guó)掃描電鏡產(chǎn)業(yè)的壯大。新技術(shù)日益更新，新成果迭出不窮。賽默飛與時(shí)俱進(jìn)地推出Verios G4 XHR SEM超高分辨率掃描電鏡，為生產(chǎn)商提供了確定缺陷、找到良率損失以及工藝和產(chǎn)品失效所需的檢測(cè)能力和靈活性。不僅如此，賽默飛還收購(gòu)桌面掃描電子顯微鏡（SEM）公司Phenom-World，增強(qiáng)其在電子顯微鏡領(lǐng)域的領(lǐng)先地位；牛津儀器與中科微力共同開(kāi)發(fā)高性能掃描探針顯微鏡產(chǎn)品；TESCAN推出第四代掃描電鏡產(chǎn)品——S8000G超高分辨聚焦離子束和掃描電子束雙束電鏡系統(tǒng)。

　　這同樣也使更多人關(guān)注該領(lǐng)域。業(yè)內(nèi)分析認(rèn)為，一些想進(jìn)入掃描電鏡行業(yè)的新生產(chǎn)廠家業(yè)需要慎重思考幾點(diǎn)：是否同現(xiàn)有廠家有同等的生產(chǎn)和市場(chǎng)規(guī)模；是否做好準(zhǔn)備投入大量的時(shí)間與成本，建立自己的品牌新形象；廠房設(shè)備、市場(chǎng)銷售、產(chǎn)品研發(fā)、品牌宣傳等需要的資金是否是問(wèn)題；是否做好分銷渠道的重新建立與完善工作。

　　電子顯微鏡，簡(jiǎn)稱電鏡，英文名Electron Microscope（簡(jiǎn)稱EM），經(jīng)過(guò)五十多年的發(fā)展已成為現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)中不可缺少的重要工具。電子顯微鏡由鏡筒、真空裝置和電源柜三部分組成。

　　鏡筒主要有電子源、電子透鏡、樣品架、熒光屏和探測(cè)器等部件，這些部件通常是自上而下地裝配成一個(gè)柱體。

　　電子透鏡用來(lái)聚焦電子，是電子顯微鏡鏡筒中最重要的部件。一般使用的是磁透鏡，有時(shí)也有使用靜電透鏡的。它用一個(gè)對(duì)稱于鏡筒軸線的空間電場(chǎng)或磁場(chǎng)使電子軌跡向軸線彎曲形成聚焦，其作用與光學(xué)顯微鏡中的光學(xué)透鏡（凸透鏡）使光束聚焦的作用是一樣的，所以稱為電子透鏡。光學(xué)透鏡的焦點(diǎn)是固定的，而電子透鏡的焦點(diǎn)可以被調(diào)節(jié)，因此電子顯微鏡不像光學(xué)顯微鏡那樣有可以移動(dòng)的透鏡系統(tǒng)。

　　現(xiàn)代電子顯微鏡大多采用電磁透鏡，由很穩(wěn)定的直流勵(lì)磁電流通過(guò)帶極靴的線圈產(chǎn)生的強(qiáng)磁場(chǎng)使電子聚焦。電子源是一個(gè)釋放自由電子的陰極，柵極，一個(gè)環(huán)狀加速電子的陽(yáng)極構(gòu)成的。陰極和陽(yáng)極之間的電壓差必須非常高，一般在數(shù)千伏到3百萬(wàn)伏特之間。它能發(fā)射并形成速度均勻的電子束，所以加速電壓的穩(wěn)定度要求不低于萬(wàn)分之一。