產(chǎn)品詳情
SIC產(chǎn)線設(shè)備
1.?? 采用工控機(jī)+PLC+條形槍的控制,方便信息的讀取,記錄,可與工廠MES系統(tǒng)相連接
2.?? 適用于多種規(guī)格硅片的腐蝕清洗,同一臺(tái)設(shè)備可編程多套運(yùn)行軟件
3.?? 根據(jù)工藝需求,槽體可匹配超、兆聲,抖動(dòng),旋轉(zhuǎn),循環(huán)過濾等功能
4.?? 全自動(dòng)控制,可選擇自動(dòng)配補(bǔ)液,保證了操作的安全穩(wěn)定性
5.?? 高速移載機(jī)械手,伺服驅(qū)動(dòng)控制,保證運(yùn)行平穩(wěn),定位可靠
6.?? 采用國際知名品牌的電氣元件。



