產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
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快速退火爐 快速熱處理設(shè)備 （不銹鋼水冷壁腔室壁真空快速退火爐）具有4英寸（100 mm） 和 6英寸 （150 mm） 兩種版本
詳情介紹
快速退火爐（快速熱處理設(shè)備）設(shè)備詳情：
1、性能和特征
- 可處理4-inch 及以下和 6-inch 及以下的晶圓
- 可適用大范圍類型的基片：硅和化合物半導(dǎo)體晶圓，GaN /藍(lán)寶石和碳化硅晶圓，多晶硅晶圓，玻璃，金屬，高分子聚合物，石墨和碳化硅托盤等等。
- 設(shè)備應(yīng)用具有：硒化、硫化、接觸退火，注入退火，RTO (快速熱氧化) ，RTN (快速熱氮化) ，硅平滑，擴(kuò)散，致密化和結(jié)晶化，石墨烯CVD，碳納米管等。
- 不銹鋼水冷腔壁技術(shù)，高工藝復(fù)現(xiàn)性，超潔凈及無污染環(huán)境
- 高冷卻速率，低記憶效應(yīng)
- 具有真空能力，可選配分子泵
- 溫度控制：高溫計(jì)和熱電偶控制+快速數(shù)字PID溫度控制器
- 邊緣高溫計(jì)視口，確保用于化合物半導(dǎo)體和小型樣品
- 基片托的溫度控制
2、快速退火爐（快速熱處理設(shè)備）具體參數(shù)
- 溫度范圍: 室溫至1250°C（AS-One100）、室溫至1450°C（AS-One100HT）、室溫至1200°C（AS-One150）、室溫至1300°C（AS-One150HT）、
- 升溫速率：可達(dá)200°C/s（AS-One100），可達(dá)150°C/s（AS-One150）
- 特殊配置下冷卻速率達(dá) 100°C/s（選配快速冷卻裝置）
- 可配5條帶質(zhì)量流量控制器（MFC）的工藝氣路
- 標(biāo)配一條吹掃氣路
- 具有真空能力，配備干泵，可選配分子泵
