產品詳情
應用領域:IC,MEMS,LED
設備用途:用于沉積SiO2、SiNx等介質膜和保護膜。
Batch Type:CX-400/CX-500
Loadlock Type:CC-200C/CC-400
Vacuum Cassette Type:CME-400E
設備用途:用于沉積SiO2、SiNx等介質膜和保護膜。
Batch Type:CX-400/CX-500
Loadlock Type:CC-200C/CC-400
Vacuum Cassette Type:CME-400E

