產(chǎn)品詳情
適合的應(yīng)用：
◆ 化學(xué)氣相沉積法制備高品質(zhì)單晶金剛石（基臺直徑5厘米）;
◆ 化學(xué)氣相沉積法制備石墨烯、碳納米管、富勒烯和金剛石膜等各種碳納米薄膜。
產(chǎn)品特點：
◆ 本產(chǎn)品為不銹鋼腔體式5kw微波等離子體設(shè)備，功率密度高；
◆ 水冷式基片臺和水冷式金屬反映腔，保證系統(tǒng)能長時間穩(wěn)定工作；
◆ 基片溫度以微波等離子體自加熱方式達(dá)到；
◆ 真空測量儀表采用全量程真空計，可精確測量本底真空和工作氣體壓強；
◆ 真空泵及閥門采用渦輪分子泵(極限真空為1x10-5Pa)和旋片式機械真空泵(極限真空為6x10-2Pa)，裝置可調(diào)節(jié)高真空隔膜閥和并聯(lián)高真空微調(diào)閥控制沉積氣壓；
◆ 配備冷卻水循環(huán)系統(tǒng)，無水源要求，確保裝置高功率下可長時間安全穩(wěn)定運行；
◆ PLC自動控制和手動操作兩種操作模式，工藝流程可重復(fù)；
◆ 可配置沉積氣壓自動控制模塊與全自動工藝控制模塊，以便于穩(wěn)定可靠地制備高品質(zhì)金剛石薄膜和晶體。
◆ 化學(xué)氣相沉積法制備高品質(zhì)單晶金剛石（基臺直徑5厘米）;
◆ 化學(xué)氣相沉積法制備石墨烯、碳納米管、富勒烯和金剛石膜等各種碳納米薄膜。
產(chǎn)品特點：
◆ 本產(chǎn)品為不銹鋼腔體式5kw微波等離子體設(shè)備，功率密度高；
◆ 水冷式基片臺和水冷式金屬反映腔，保證系統(tǒng)能長時間穩(wěn)定工作；
◆ 基片溫度以微波等離子體自加熱方式達(dá)到；
◆ 真空測量儀表采用全量程真空計，可精確測量本底真空和工作氣體壓強；
◆ 真空泵及閥門采用渦輪分子泵(極限真空為1x10-5Pa)和旋片式機械真空泵(極限真空為6x10-2Pa)，裝置可調(diào)節(jié)高真空隔膜閥和并聯(lián)高真空微調(diào)閥控制沉積氣壓；
◆ 配備冷卻水循環(huán)系統(tǒng)，無水源要求，確保裝置高功率下可長時間安全穩(wěn)定運行；
◆ PLC自動控制和手動操作兩種操作模式，工藝流程可重復(fù)；
◆ 可配置沉積氣壓自動控制模塊與全自動工藝控制模塊，以便于穩(wěn)定可靠地制備高品質(zhì)金剛石薄膜和晶體。
