產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品名稱：SWAGELOK-隔膜閥-ALD3
產(chǎn)品型號：ALD3
產(chǎn)品介紹：高純度 ALD3 和 ALD6 閥旨在為半導體制造商提供可靠、高速的前體氣體計量，用于在沉積室中逐層構建微芯片。高純 ALD3 和 ALD6 閥門可設置為常閉和常開氣動驅動，它們有多種配置可供選擇，包括兩端口直管和彎管設計；二通、三通和四通多通閥和多閥歧管；以及 1.125 英寸（限 ALD3 系列）和 1.5 英寸平臺中的二端口和三端口模塊化表面安裝閥。可用的熱致動器、位置傳感器、螺線管和可選的用于容納加熱器筒的主體孔都可以根據(jù)用戶的特定過程為用戶提供額外的價值。
性能特點：
具有高速驅動的高循環(huán)壽命
流量系數(shù)范圍從 0.27 到 0.62，可提供自定義流量系數(shù)
使用可選的熱致動器可完全浸入高達 392°F (200°C) 的溫度
適用于采用標準 316L VIM-VAR 不銹鋼閥體的高純度應用
模塊化表面安裝、管對接焊和 VCR端接
電子或光學致動器位置感應選項
ALD3 和 ALD6 隔膜由鈷基高溫合金材料組成，具有強度和耐腐蝕性；閥體由 316L VIM-VAR 不銹鋼制成，適用于高純應用；閥座由全氟化高純度 PFA 組成，具有廣泛的化學兼容性和抗溶脹性和抗污染性。
選型指南：
產(chǎn)品結構與細節(jié)：
可選配置：
產(chǎn)品尺寸：
產(chǎn)品應用：
參數(shù)：
