產品詳情
BROOKS熱質量流量閥的主要功能是測量和控制氣體的質量流量。它基于熱式傳感器技術,利用精密加工的芯片來檢測流量并計算氣體的質量流量。這種設備使用微小的加熱電流來加熱喉部，通過檢測喉部溫度的變化來計算出流量。
主要功能
1.高精度測量: BROOKS質量流量計的精度可以達到0.1%，比傳統(tǒng)的流量計高出數(shù)倍。
2.廣泛適用性:能夠測量多種氣體和氣體混合物的質量流量，適用于工業(yè)生產、科研實驗、生命科學等多個領域。
3.快速響應:具有快速響應的特點，能夠實時響應流量變化。
4.低阻力:與管道的直徑相同，不會增加管道的阻力。
5.易于安裝和維護:結構簡單，安裝和維護都十分便捷。
應用場景
1.半導體制造:在各種工藝步驟中實現(xiàn)高精度的氣體流量控制，包括沉積、刻蝕、清洗等
2.醫(yī)療器械:提供高精度的氣體流量控制，確保給藥量的準確性和一致性，適用于吸入氧氣、麻醉劑等治療和監(jiān)護任務。
3.工業(yè)生產:在生產過程中實現(xiàn)精確的流量調節(jié)，消除介質變化和傳感器漂移等因素引起的誤差。
主要功能
1.高精度測量: BROOKS質量流量計的精度可以達到0.1%，比傳統(tǒng)的流量計高出數(shù)倍。
2.廣泛適用性:能夠測量多種氣體和氣體混合物的質量流量，適用于工業(yè)生產、科研實驗、生命科學等多個領域。
3.快速響應:具有快速響應的特點，能夠實時響應流量變化。
4.低阻力:與管道的直徑相同，不會增加管道的阻力。
5.易于安裝和維護:結構簡單，安裝和維護都十分便捷。
應用場景
1.半導體制造:在各種工藝步驟中實現(xiàn)高精度的氣體流量控制，包括沉積、刻蝕、清洗等
2.醫(yī)療器械:提供高精度的氣體流量控制，確保給藥量的準確性和一致性，適用于吸入氧氣、麻醉劑等治療和監(jiān)護任務。
3.工業(yè)生產:在生產過程中實現(xiàn)精確的流量調節(jié)，消除介質變化和傳感器漂移等因素引起的誤差。
